國內(nèi)某大型多晶硅企業(yè)的電加熱器的故障統(tǒng)計(jì)因?yàn)殡娂訜峁芙^緣性低故障一般在設(shè)備調(diào)試時(shí)被發(fā)現(xiàn)，電加熱器共投用108臺(tái)，投用至今共發(fā)生故障45次，其中電加熱管燒壞故障率最高，占總故障的64%，主要原因是原料四氯化硅含粉塵多，其次是因?yàn)樵缙诘墓に囍卸榷涔栉催M(jìn)行反歧化處理，就直接加入到氫化四氯化硅原料儲(chǔ)罐內(nèi)，然后和四氯化硅、氫氣一起進(jìn)入混合氣電加熱器加熱，二氯二氫硅高溫下分解產(chǎn)生無定形硅附著在加熱管上，電阻絲產(chǎn)生的熱無法及時(shí)散出而導(dǎo)致局部溫度過高，使加熱管燒斷。
套管泄漏故障率也較高，占總故障的27%，其原因主要是多晶硅工廠的大氣環(huán)境常含有氯離子，電加熱器正常工作時(shí)套管溫度高，水分無法在表面停留，不容易被腐蝕，但是冷氫化系統(tǒng)需要定期停車排渣，導(dǎo)致套管在常溫下易被大氣中的氯離子腐蝕。
電加熱管與管板焊接問題屬于設(shè)備質(zhì)量問題，占總故障的9%。
電加熱器投用第2年的平均故障次數(shù)比第1年有所上升，但是投用第2年故障全部為電加熱管燒壞故障，與生產(chǎn)工況關(guān)系較大，投用第3年基本上無故障發(fā)生，這說明在工況較好(加熱介質(zhì)無二氯二氫硅且物料干凈)的條件下，無質(zhì)量問題的電加熱器的使用壽命能達(dá)到較長時(shí)間。
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多晶硅生產(chǎn)中電加熱器常見故障、發(fā)生原因有哪些？